蔡司Sigma系列產(chǎn)品集場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）技術(shù)與良好的用戶體驗于一體，可輕松實現(xiàn)成像和分析程序，提高工作效率。 您可以將其用于新材料和顆粒的質(zhì)量監(jiān)測，或用于生物和地質(zhì)樣品的研究。在高分辨率成像方面精益求精——采用低電壓，在1 kV或更低電壓下獲得更佳的分辨率和襯度。它出色的EDS幾何學(xué)設(shè)計可執(zhí)行高級顯微分析，以兩倍的速度和更高的精度獲取分析數(shù)據(jù)。

使用Sigma系列，暢游納米分析世界。

• Sigma 360是一款直觀的成像和分析FE-SEM，是分析測試平臺的理想之選。

• Sigma 560采用EDS幾何學(xué)設(shè)計，可提供高通量分析，實現(xiàn)自動原位實驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢

Sigma 360

分析測試平臺的理想之選，直觀的圖像采集

• 從設(shè)置到獲取基于人工智能的結(jié)果，均提供專業(yè)向?qū)?，為您保駕護航，助您探索直觀的成像工作流。

• 可在1 kV和更低電壓下分辨差異，實現(xiàn)更高的分辨率和優(yōu)化的襯度。

• 可在特殊條件下執(zhí)行可變壓力成像，獲得出色的非導(dǎo)體成像結(jié)果。

直觀成像工作流為您指引方向

從設(shè)置到獲取基于人工智能的結(jié)果，每一步都清晰明了

• 即使您是新手用戶，也能輕松獲得專業(yè)結(jié)果。Sigma系列可迅速獲取圖像，易于學(xué)習(xí)和使用的工作流程可節(jié)省培訓(xùn)時間，簡化從導(dǎo)航到后期處理的每個步驟，讓您如虎添翼。

• 蔡司SmartSEM Touch中的軟件自動化可助您完成導(dǎo)航、參數(shù)設(shè)置和圖像采集等步驟。

• 接下來，ZEN core便可大顯身手：它配備針對具體任務(wù)的工具包，適用于后期處理。我們十分推薦基于機器學(xué)習(xí)的人工智能工具包，它可助您進行圖像分割，將多模式實驗與Connect Toolkit相結(jié)合，此外，Materials應(yīng)用程序還能分析微觀結(jié)構(gòu)、晶粒尺寸或涂層厚度。

可在1 kV和更低電壓條件下分辨差異

增強的分辨率，優(yōu)化的襯度

• 光學(xué)鏡筒是成像和分析性能的關(guān)鍵。Sigma配備蔡司Gemini 1電子光學(xué)系統(tǒng)，可對任何樣品提供出色的成像分辨率，尤其是在低電壓條件下。

• Sigma 360的低電壓分辨率目前規(guī)定500 V時為1.9 nm。通過大幅度降低色差，1 kV時的分辨率已提升10%以上，可達。

• 現(xiàn)在成像比以往任何時候都輕松，無論是要求嚴(yán)苛的樣品，還是在可變壓力（VP）模式下采用背散射探測。

可在特殊條件下完成可變壓力成像

用于分析和成像的NanoVP lite模式

• 全新的 NanoVP lite模式和探測器可輕松在低于5 kV的條件下從絕緣材料中獲得高質(zhì)量數(shù)據(jù)。

• 這樣就可增強成像和X射線能譜分析的性能，提供更多表面敏感信息，縮短采集時間，增強入射電子束流，提高能譜面分布速度。

• aBSD1（環(huán)形背散射電子探測器）或新一代C2D（級聯(lián)電流）探測器可確保在低電壓條件下采集到出色圖像。

蔡司Sigma 560場發(fā)射掃描電子顯微鏡

高通量分析，原位實驗自動化

• 對實體樣品進行高效分析：基于SEM的高速分析。

• 實現(xiàn)原位實驗自動化：無人值守測試的全集成實驗室。

可在低于1 kV的條件下完成要求嚴(yán)苛的樣品成像：采集完整的樣品信息。

對實體樣品進行高效分析

EDS：通用、高速，助您深入研究

• 蔡司Sigma 560場發(fā)射掃描電子顯微鏡的EDS幾何學(xué)設(shè)計可提高分析效率。兩個180°徑向相對的EDS端口確保了即使在低電壓小束流條件下，也能實現(xiàn)高通量無陰影元素分布成像。

• 樣品倉的附加EBSD和WDS端口不局限于滿足EDS分析。

• 不導(dǎo)電樣品也可以使用全新的NanoVP lite模式進行分析，并能獲得更強的信號和更高的襯度。

全新的aBSD4探測器可輕松實現(xiàn)表面形貌復(fù)雜樣品的圖像采集。

實現(xiàn)原位實驗自動化

無人值守測試的全集成實驗室

• Sigma原位實驗室是一種全集成式解決方案，它可以不依賴操作人員，通過無人值守的自動化工作流進行加熱和拉伸測試。

• 通過對納米級別的特征進行三維分析進一步擴展您的工作流：執(zhí)行三維STEM斷層成像或基于人工智能的圖像分割。

對要求嚴(yán)苛的樣品能夠輕松成像

可在1 kV和更低電壓條件下分辨差異

• 在1 kV或甚至在500 V時實現(xiàn)信息量豐富的成像和分析：Sigma 560的低電壓分辨率規(guī)定500 V時為1.5 nm。

• 在全新的NanoVP lite模式下，使用新型aBSD或C2D探測器在可變壓力下輕松拍攝高要求樣品，加速電壓可低至3 kV。

• 正在研究電子設(shè)備的您肯定希望保持清潔的工作環(huán)境。使用等離子清洗儀（強烈推薦）和可通過6英寸晶圓的新型大尺寸樣品交換艙，防止您的樣品室受到污染。

技術(shù)

Gemini 1的光學(xué)系統(tǒng)

Gemini光學(xué)鏡筒截面示意圖，包含電子束推進器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

Gemini 1的光學(xué)系統(tǒng)由三個元件組成：物鏡、電子束推進器和具有Inlens探測原理的探測器。其中，物鏡的設(shè)計將靜電場與磁場的作用力相結(jié)合，大大優(yōu)化光學(xué)性能的同時，降低了樣品所處的場影響。如此也可實現(xiàn)對磁性材料等具有挑戰(zhàn)性的樣品的高品質(zhì)成像。Inlens探測原理通過對二次電子（SE）和/或背散射電子（BSE）的探測來確保高效的信號檢測，同時大幅縮短獲取圖像的時間。電子束推進器保證了小尺寸的電子束斑和高信噪比。

靈活探測

Gemini 1光學(xué)鏡筒與探測器截面示意圖

Sigma配備了一系列不同的探測器，通過新探測技術(shù)對您的樣品進行表征。使用ETSE和Inlens探測器的高真空模式可獲取表面形貌的高分辨率信息。使用VPSE或C2D探測器的可變壓力模式可獲得清晰圖像。使用aSTEM探測器可進行高分辨率透射電子成像。 采用不同的可選BSE探測器（如aBSD探測器）可以深入研究樣品的成分和表面形貌。

NanoVP lite模式

標(biāo)準(zhǔn)VP（左）和NanoVP lite（右）模式，氣體分布（粉紅色），電子束裙邊（綠色）。

采用NanoVP lite模式進行分析和成像，在低電壓條件下可獲得更高的圖像質(zhì)量，更快速地獲取更準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)。

• 在NanoVP lite模式下，裙邊效應(yīng)降低且入射束流的路徑長度（BGPL）減小。裙邊減小會提高SE和BSE成像的信噪比。

• 帶有五段圓弧的伸縮式aBSD可提供出色的材料成分襯度：在NanoVP lite工作過程中，該探測器配備了安裝在極靴下方的束流套管，其可提供高通量及低電壓的成分和表面形貌高襯度成像，適用于可變壓力和高真空條件。

應(yīng)用

材料科學(xué)

探索聚合物、纖維、二硫化鉬等材料樣品的圖像。

• 對斷裂的聚苯乙烯樣品表面進行成像，以了解聚合物界面處的裂紋形成和附著力。
  Sigma 560， 3 kV，60 Pa樣品倉壓力下的NanoVP lite模式，C2D G2。

• 由德國科隆大學(xué)無機化學(xué)研究所的V. Brune博士提供。

  用于藥物傳遞的MSC膠囊（中空介孔二氧化硅）。背散射成像顯示了二氧化硅納米膠囊中的氧化鐵顆粒。Sigma 560，HDBSD，5 kV。

• 以低電壓成像的碳納米管（CNT）。Sigma 560，500 V，Inlens SE探測器。

• 氧化鋁（Al2O3）球體。在500 V表面信息敏感條件下高分辨率成像，可以看到燒結(jié)顆粒的表面梯度，某些梯度之間的距離僅為3 nm。Sigma 560，500 V，Inlens SE。

• 電池正極鋁箔顆粒表面。利用材料成分襯度識別Li-NMC上的粘合劑（較暗的材料），使用aBSD成像。

• 利用化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)在Si/SiO2基材上生長的MoS22D晶體：RISE圖像呈現(xiàn)出MoS2晶體的褶皺和重疊部分（綠色）、多層（藍(lán)色）及單層（紅色）結(jié)構(gòu)，圖像寬度32 µm。

• 鋼原位加熱和拉伸實驗。同步執(zhí)行SEM成像和EBSD分析，以深入研究應(yīng)力應(yīng)變曲線。

生命科學(xué)

了解更多有關(guān)原生動物或真菌的微觀和納米結(jié)構(gòu)信息，獲取切面樣品或薄片上的超微結(jié)構(gòu)。

• 在1 kV高真空條件下，使用ETSE探測器輕松完成放射蟲精細(xì)鏤空結(jié)構(gòu)成像，圖像寬度183 µm。

• 在1 kV高真空條件下對蘑菇真菌孢子成像。使用Sigma 500可以在低電壓下對這些精巧脆弱的結(jié)構(gòu)輕松成像。

• 由挪威卑爾根大學(xué)薩斯海洋分子生物學(xué)中心的Anna Seybold和Harald Hausen提供。

  固著海洋生物苔蘚蟲Tricellaria inopinata的超微結(jié)構(gòu)，觀察視野為30 μm。使用蔡司Sigma 560采集，Sense BSD探測器，1 kV，30 pA。

• 由UCL眼科研究所的Peter Munro博士和Hannah Armer提供。

  使用連續(xù)切面成像技術(shù)自動采集的3D大腦超微結(jié)構(gòu)。星形細(xì)胞（青色）被識別和分割。

地球科學(xué)與自然資源

探索巖石、礦石和金屬。

• 在20 kV下使用YAG-BSD成像的巖石樣品，由于YAG晶體的光傳導(dǎo)性能可高速采集圖像。

• 硫化鎳礦石。礦物EDS面分布圖，圖像寬度3.1 mm。樣品由英國萊徹斯特大學(xué)提供。

• 鐵礦石礦物分析：鐵礦石礦物的拉曼光譜分析，掃描電子顯微鏡圖像和拉曼圖疊加。（赤鐵礦為紅色、藍(lán)色、綠色、橙色和粉紅色；針鐵礦為淡藍(lán)色）。

• 鐵礦石礦物分析，拉曼光譜：赤鐵礦光譜的差異表征了其晶體取向的不同。（赤鐵礦為紅色、藍(lán)色、綠色、橙色和粉紅色；針鐵礦為淡藍(lán)色）。

• 含石榴石片麻巖的定量EDS主要元素?zé)釄D（Ca），突出了關(guān)鍵礦物中的地球化學(xué)分區(qū)。

工業(yè)應(yīng)用

了解如何對金屬、合金和粉末進行研究。

• 在40 Pa可變壓力模式下，使用C2D探測器輕松完成對顏料和遮光劑用非導(dǎo)電二氧化tai顆粒的成像，圖像寬度10 µm。

• 在20 kV的暗場模式下，使用aSTEM探測器對25 – 50 nm氧化鐵顆粒成像。

• 在1 kV下使用aBSD對超導(dǎo)合金樣品成像。（比例尺20 µm）

• 氧化鋅枝晶：檢測儲能系統(tǒng)電極的形態(tài)變化。Sigma，ETSE，5 kV。